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天准科技:Muetec掩膜检测设备已可覆盖65-90nm工艺 目前尚未达到EUV掩膜检测设备精度 动态焦点

2023-05-29 16:24:56 来源:界面新闻


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天准科技5月29日在互动平台表示,Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺,目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

(文章来源:界面新闻)

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